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旋轉涂布機基片尺寸5-200mm/5-600mm(選配) 速度范圍1-12000RPM/1-20000RPM(選配) 轉速度1RPM 轉速穩(wěn)定度±0.1% 加速度范圍1-10000RPM/S 膠均勻性±1%